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HG-4010濕度發(fā)生器億科利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

濕度發(fā)生器利用高精度計量泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

標準溫濕度發(fā)生器針對大溫度范圍（室溫-95℃）、大濕度范圍（0-95%RH）、快速響應（10秒級）、穩(wěn)定輸出含濕氣體需求而專門開發(fā)的一款溫濕度發(fā)生器。它采用雙溫雙壓來發(fā)生濕度，但是在飽和器、分流控制算法、濕度和熱補償?shù)确矫孢M行了重要改進。

小型濕度發(fā)生器通過改變比例閥通徑改變高壓或低壓壓力而得到不同濕度的恒濕氣源。根據(jù)道爾頓分壓定律，先使氣體在穩(wěn)定的高壓狀態(tài)下飽和，然后在相同的溫度下降壓，至穩(wěn)定的低壓狀態(tài)，即可得到恒濕氣源，其濕度值可根據(jù)飽和室溫度高壓壓力和低壓壓力而準確測定。

晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結構與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計量校準需求。

半導體測試專用濕度發(fā)生器采用質量流量計控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。